i-线光刻级氟化钙晶体元件是工作波长为365 nm的光刻机（即i-线光刻机）的核心光学材料。该类晶体具有紫外透过率高、光学均匀性高和色散低等优异光学特性，是高端成像系统中不可替代的消色差材料，被广泛应用于紫外光刻、空间光学、精密光学检测、紫外激光器等高端装备领域。

从“卡脖子”到国产化突破

氟化钙晶体是紫外光刻领域高端装备光学系统的核心元件，其紫外透过率、应力双折射等关键性能指标要求接近物理极限。长期以来，紫外级高端氟化钙晶体产品被德国、日本和美国等国垄断，并对我国实施禁运，成为制约我国紫外光刻产业发展的 “卡脖子”基础材料。

在上海市“科技创新行动计划”集成电路科技支撑专项和科技攻关“揭榜挂帅”等项目支持下，中国科学院上海硅酸盐研究所攻克了i-线光刻级氟化钙晶体的关键制备技术，并通过科技成果转化实现规模化量产。相关专利及知识产权转化入选 “2024年上海市专利转化运用十大典型案例”，技术成果及产业效应获得社会高度认可。依托本标准的制定与实施，国产氟化钙晶体已批量稳定应用于国产i-线光刻领域，彻底打破了国际技术封锁，标志着我国在该领域实现全面国产化。

填补国内外标准空白

2022年，中国科学院上海硅酸盐研究所牵头，联合国内产业链龙头企事业单位共同开展标准研制，由上海市硅酸盐学会组织发布了团体标准T/SCS000021-2023《i-线光刻级氟化钙晶体元件》。该标准精准对标i-线光刻领域应用需求，是我国在该细分领域具有开创意义的团体标准，成功填补了国内外标准空白。

本标准的核心技术指标显著优于国家标准，并与国际标准ISO 22576:2020《Optics and photonics--Optical materials and components-- Specification  of calcium fluoride used in the infrared spectrum》（光学与光子学——光学材料及元件——红外光谱用氟化钙规范）相比，不仅在关键指标上达到同等水平，更在指标体系的全面性、专用性上实现全面超越，展现出显著的综合优势。凭借其技术先进性和行业影响力，本标准获评“2024年度上海市团体标准十佳典型案例”。

自发布实施以来，本标准迅速转化为产业动能，在应用推广、社会效益与经济效益等方面取得系列突破，为支撑我国光刻技术自主发展和高端材料供应链安全提供了坚实保障。

推动产业发展，筑基国家战略科技

T/SCS000021-2023被国内外相关龙头和上下游企业采纳实施后，高端紫外氟化钙晶体产品的质量和产量稳步提高，产品合格率从40%大幅提升至95%以上，年产量从20吨扩大至50吨，在国内市场上树立了高标准的“上海标准”的标杆。

 依据T/SCS000021-2023标准研制的i-线光刻级氟化钙晶体产品，成功应用于i线光刻、空间光学、半导体量测、紫外激光器等高端装备领域，标志着我国在高性能氟化钙晶体材料领域已具备国际先进的生产制造能力，成为支撑国家战略科技力量的重要基石。