标准名称及编号：i-线光刻级氟化钙晶体元件（T/SCS000021—2023）
标准英文名称：i-line lithography grade calcium fluoride crystal components
标准类型：团体标准
地址：上海市武夷路258号 电话：021-54048034 邮箱：[email protected] 版权所有：上海市标准化协会
